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                  中科院微電子臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

                  更新時間:2021-12-27

                  簡要描述:

                  我研究室生產的KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。

                  產品主要特點

                  1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。

                  2、轉速在500~8000轉/分范圍內非常穩定。

                  品牌其他品牌產地類別國產
                  應用領域電子

                  中國科學院微電子研究所 KW-4A型臺式勻膠機/旋涂儀/涂膠機

                  產品簡介 

                  我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 

                  產品主要特點 

                  1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。 

                  2、轉速在500~8000轉/分范圍內非常穩定。   

                  3、采用雙轉速。在啟動之后,先以低速運轉,使膠攤開,然后自動轉換到高速運轉。兩種轉速及相應的時間分別可調,時間分別控制在1~18秒和3秒~1分鐘。 

                  4、具有定時功能。  

                  5、測速采用光電的辦法,產生光電脈沖,由晶體分頻測速準確性高。  

                  6、"吸片"采用電磁閥控制氣路,一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作,適合流水線的工藝,提高了效率。   

                  7、在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時噪音低。 

                  性能指標:

                  參數

                  指標

                  調速范圍和勻膠時間

                  Ⅰ檔調速范圍:500-2000轉/分Ⅰ檔勻膠時間:2-18秒

                  Ⅱ檔調速范圍:1300-8000轉/分Ⅱ檔勻膠時間:3-60秒

                  適用

                  Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等勻膠

                  電機功率

                  40W

                  LED數字顯示

                  轉速穩定度:±1%,膠的均勻性:±3%

                  真空泵抽氣速率

                  ≥60升/分

                  儀器尺寸

                  210×220×160mm

                  留言框

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